アルバック（ULVAC、神奈川県茅ケ崎市）、半導体メーカーSTマイクロエレクトロニクス（本社・ジュネーブ、ST）、シンガポール科学技術研究庁（A*STAR）の研究機関IMEは、圧電式MEMS（Micr … 続きを読む アルバック、シンガポールに圧電MEMSのLab-in-Fab型研究開発用ライン設立